SPP200 – 單片導片機
發布于：
2013年11月12日
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SPP200 – 單片導片機
- 本產品使用非真空技術，可以從同一晶圓盒取放晶圓，或從一晶圓盒取晶圓，但放到另一晶圓盒里．
- 使用單一晶圓手臂，在保證晶圓安全下，和晶圓背面有最少的線性接觸．
- 本產品由純凈有機材料制成，具有靜電保護功能，所有符合ＳＥＭＩ標準的晶圓盒都可以使用
SPP200 – wafer sorter
- RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading．
- Transfer wafer from one carrier to another carrier．