SRT300 – 單片導片機（獨立式）

SRT300 – 單片導片機（獨立式）

1. 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。
2. 本設備自帶FFU環境，潔凈度達到0.1級
3. 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上，所以本產品具有體積小，傳送效率高和最低的生產成本。
4. 可選擇配置2，3或4個晶圓盒裝載臺。

SRT300 –wafer sorter（stand alone）

1. ?Vacuum free edge contact wafer handling。
2. Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU
3. Patented embedded alignment and ID reading on finger。
4. Smallest footprint
5. 2 to 4 FOUP configuration available.