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SRT300 – 單片導片機(獨立式)
2013-11-13
SRT300 – 單片導片機(獨立式) 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。 本設備自帶FFU環境,潔凈度達到0.1級 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上,所以本產品具有體積小,傳送效率高和最低的生產成本。 可選擇配置2,3或4個晶圓盒裝載臺。 SRT300 –wafer sorter(stand alone) ?Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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SPP200S – SMIF型導片機
2013-11-12
請參閱:?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11 please see details at:?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
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ESR300 – 單片導片機(集成式)
ESR300 – 單片導片機(集成式) 本產品可以和市場上主要的晶圓儲存系統(wafer stocker)集成在一起,以幫助客戶減少生產成本。 可選擇配置2或4個晶圓裝載臺 ESR300 – wafer sorter(embedded with stocker) It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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BPP300 – 25片整批導片機
BPP300 – 25片整批導片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批導片機,可以實現25片晶圓一次轉移到另一晶圓盒。 每小時可導片2,800片。 BPP300 – 25 transfer system RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system, Transfer 25 wafers at once Throughput – 2800WPH。
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SPP200D – 非SMIF型導片機
詳情請參閱:http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3 please see deatils at:http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3
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SPP200 – 單片導片機
SPP200 – 單片導片機 本產品使用非真空技術,可以從同一晶圓盒取放晶圓,或從一晶圓盒取晶圓,但放到另一晶圓盒里. 使用單一晶圓手臂,在保證晶圓安全下,和晶圓背面有最少的線性接觸. 本產品由純凈有機材料制成,具有靜電保護功能,所有符合SEMI標準的晶圓盒都可以使用 SPP200 – wafer sorter RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading. Transfer wafer from one carrier to another carrier.
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BPP200 – 整批導片機
BPP200 – 整批導片機 本產品使用無真空技術 晶圓整體從一個晶圓盒拿出,放到另一個晶圓盒里 實時晶圓安全監測 可以選擇一個或兩個晶圓盒放置臺 BPP200 – Batch wafer transfer Vacuum free edge contact Transfer batch wafers One or two load port optional