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BFS300 – 25片翻片機
2013-10-12
BFS300 – 25片翻片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批翻片機，可以實現25片晶圓一次反轉。 每小時可實現翻片1，500片。 BFS300 – batch flip system RECIF patented – vacuum free edge contact, Flip 25 wafers at once Throughput – 00 WPH
2013-10-12
BFS300 – 25片翻片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批翻片機，可以實現25片晶圓一次反轉。 每小時可實現翻片1，500片。 BFS300 – batch flip system RECIF patented – vacuum free edge contact, Flip 25 wafers at once Throughput – 00 WPH