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SRT300 – 單片導片機(獨立式)
2013-11-13
SRT300 – 單片導片機(獨立式) 世界晶圓傳送設備主要廠商RECIF生產的無真空晶圓邊緣接觸或晶圓背面三點接觸式超清潔導片機。 本設備自帶FFU環境,潔凈度達到0.1級 本產品集成晶圓定位和晶圓刻號讀寫功能在傳送手臂上,所以本產品具有體積小,傳送效率高和最低的生產成本。 可選擇配置2,3或4個晶圓盒裝載臺。 SRT300 –wafer sorter(stand alone) ?Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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SPP200S – SMIF型導片機
2013-11-12
請參閱:?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11 please see details at:?http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
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ESR300 – 單片導片機(集成式)
ESR300 – 單片導片機(集成式) 本產品可以和市場上主要的晶圓儲存系統(wafer stocker)集成在一起,以幫助客戶減少生產成本。 可選擇配置2或4個晶圓裝載臺 ESR300 – wafer sorter(embedded with stocker) It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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BPP300 – 25片整批導片機
BPP300 – 25片整批導片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批導片機,可以實現25片晶圓一次轉移到另一晶圓盒。 每小時可導片2,800片。 BPP300 – 25 transfer system RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system, Transfer 25 wafers at once Throughput – 2800WPH。
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BLM300 – 強光燈檢測模塊
BLM300 – 強光燈檢測模塊 ?本產品可以放置在晶圓導片機或生產設備的晶圓裝載臺上,透過三個特制的強光燈的燈光,操作工可以檢測晶圓表面的顏色均勻度,灰塵顆粒和劃傷。 BLM300 – Bright Light Module The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.
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BFS300 – 25片翻片機
2013-10-12
BFS300 – 25片翻片機 ?RECIF專利 – 無真空晶圓邊緣接觸式整批翻片機,可以實現25片晶圓一次反轉。 每小時可實現翻片1,500片。 BFS300 – batch flip system RECIF patented – vacuum free edge contact, Flip 25 wafers at once Throughput – 00 WPH